本发明属于微机械、微电机系统技术、光刻、微细加工技术(德文缩写:光刻、电铸、塑铸)技术领域,更适合似技术产品制造,特别是指一种微型磁力步进电机的制造方法 。 微型磁力步进电机是微系统的重要执行元件,该发明提出了利用常规八技术,深度加工技术负性光敏胶、正性光敏胶制造微电机的一种方法。本发明结合00 八技术和深度微加工技术的特 点,提出了一种微型磁力步进电机的结构和装配方案。其核心是微型磁 力步进电机的定子制造技术,该技术釆用了上表面套刻技术,使分散的 定子通过该技术很好地连接起来,从而能够作为一个完整的部件进行装配。该发明采用了微细加工技术来制造电机的转子,定子和盖板等关键部件,与传统的精密加工技术(车,铣,磨等)有着本质的区别。由于微加工技术本身的特点,转子,定子及盖板的结构图形可以任意设计, 几乎不受限制,它们的尺寸精度和位置精度也能够很好地保证 。
本发明的目的是,提供了一种微型磁力步进电机的制造方法,该方法可以制造出外形尺寸在毫米量级的磁力步进电机,电机的步进角可以根据需要进行设计和调整;具有工艺简单、精度高和批量生产的优点 。
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