本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高，精度高，实时和无无损样品的优点。在半导体，光学材料，表面物理，化工，冶金，生物和医学等领域都有重要应用。