行星齿轮驱动装置的重量,一般情况下正比于齿轮的重量,而齿轮的重量与其材料和热处理硬度有很大关系。所以针对行星齿轮减速电机的结构特点和齿轮的载荷性质,应该采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮的热处理方法很多,如表面淬火,整体淬火、渗碳淬火、渗氮等,应根据行星齿轮减速电机的特点考虑选定。 1、表面淬火 常见的表面淬火方法有频淬火(对小尺寸齿轮)和火焰淬火(对大尺寸齿轮)两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时,其效果好。 
2、渗碳淬火 渗碳淬火齿轮具有相对的承载能力,但必须采用精加工工序(磨齿)来消除热处理变形,以精度。 渗碳淬火在轮齿弯曲疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提外,还在于有表面的残余压应力,它可使轮齿拉应力区的应力减小。因此磨齿时不能磨齿根部分,滚齿时要用留磨量滚刀。 
3、渗氮 采用渗氮可轮齿在变形的条件下达到很的齿面硬度和耐磨性,热处理后可不再进行后的精加工,提了承载能力。这对于不易磨齿的内齿轮来说,具有特殊意义。 
4、相啮合齿轮的硬度组合 当大、小齿轮均为软齿面时,小齿轮的齿面硬度应于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较时,则取两轮硬度相同。选择好的行星齿轮减速电机材料,有利于提齿轮减速电机的承载力及使用寿命 
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